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  • ELS-F125/F100/HS50電子束曝光系統(tǒng)

    ELS-F125是Elionix推出的世界上1st臺(tái)加速電壓達(dá)125KV的電子束曝光系統(tǒng),其可加工線寬下限為5nm的精細(xì)圖形。(以下參數(shù)基于ELS-F125)

    更新時(shí)間:2024-06-17
    產(chǎn)品型號(hào):ELS-F125/F100/HS50
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