人妻丰满熟妞av无码区_嫩b人妻精品一区二区三区_亚洲精品久久久久午夜福禁果tⅴ_无码内射成人免费喷射_综合无码一区二区三区

產(chǎn)品中心

Product Center

當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心輪廓儀接觸式輪廓儀P170全自動晶圓探針式輪廓儀/臺階儀

全自動晶圓探針式輪廓儀/臺階儀

產(chǎn)品簡介

P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,將P-17臺式系統(tǒng)的測量性能和經(jīng)過生產(chǎn)驗(yàn)證的HRP®-260的機(jī)械傳送臂相結(jié)合。 這樣的組合為機(jī)械傳送臂系統(tǒng)提供了低成本,適用于半導(dǎo)體,化合物半導(dǎo)體和相關(guān)行業(yè)。 P-170全自動晶圓探針式輪廓儀/臺階儀可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量,其掃描可達(dá)200mm而無需圖像拼接。

產(chǎn)品型號:P170
更新時(shí)間:2024-06-17
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:4306
詳細(xì)介紹在線留言
品牌其他品牌價(jià)格區(qū)間面議
產(chǎn)品種類接觸式輪廓儀/粗糙度儀產(chǎn)地類別進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域電子,航天,電氣,綜合

 全自動晶圓探針式輪廓儀/臺階儀P-170該系統(tǒng)結(jié)合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺,因而具備出色的測量穩(wěn)定性。通過點(diǎn)擊式平臺控制、頂視和側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)以及帶光學(xué)變焦的高分辨率相機(jī)等功能,程序設(shè)置簡便快速。P-170具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法,可以支持2D或3D測量。并通過圖案識別、排序和特征檢測實(shí)現(xiàn)全自動測量。


一、 全自動晶圓探針式輪廓儀/臺階儀功能

    設(shè)備特點(diǎn)

    ·臺階高度:幾納米至1000μm

    ·微力恒力控制:0.03至50mg

    ·樣品全直徑掃描,無需圖像拼接

    ·視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī)

    ·圓弧校正:消除由于探針的弧形運(yùn)動引起的誤差

    ·軟件:簡單易用的軟件界面

    ·生產(chǎn)能力:通過測序、圖案識別和SECS/GEM實(shí)現(xiàn)全自動化

    ·晶圓機(jī)械傳送臂:自動加載75mm至200mm不透明(例如硅)和透明(例如藍(lán)寶石)樣品


8c61c20277cb6579818f4136e5de2e80.jpg

主要應(yīng)用

    ·臺階高度:2D和3D臺階高度

    ·紋理:2D和3D粗糙度和波紋度

    ·形狀:2D和3D翹曲和形狀

    ·應(yīng)力:2D和3D薄膜應(yīng)力

    ·缺陷復(fù)檢:2D和3D缺陷表面形貌

    工業(yè)應(yīng)用

    ·半導(dǎo)體

    ·化合物半導(dǎo)體

    ·LED:發(fā)光二極管

    ·MEMS:微機(jī)電系統(tǒng)

    ·數(shù)據(jù)存儲

    ·汽車

二、應(yīng)用案例

    ·臺階高度

    P-170可以提供納米級到1000μm的2D和3D臺階高度的測量。 這使其能夠量化在蝕刻,濺射,SIMS,沉積,旋涂,CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。P-170具有恒力控制功能,無論臺階高度如何都可以動態(tài)調(diào)整并施加相同的微力。 這保證了良好的測量穩(wěn)定性并且能夠精確測量諸如光刻膠等軟性材料。


    ·紋理:粗糙度和波紋度

    P-170提供2D和3D紋理測量并量化樣品的粗糙度和波紋度。軟件濾鏡功能將測量值分為粗糙度和波紋度部分,并計(jì)算諸如均方根(RMS)粗糙度之類的參數(shù)。


    ·外形:翹曲和形狀

    P-170可以測量表面的2D形狀或翹曲。這包括對晶圓翹曲的測量,例如半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中的多層沉積期間由于層與層的不匹配是導(dǎo)致這種翹曲的原因。P-170還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。


    ·應(yīng)力:2D和3D薄膜應(yīng)力

    P-170能夠測量在生產(chǎn)包含多個(gè)工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力。使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置并精確測量樣品翹曲。 然后通過應(yīng)用Stoney方程,利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計(jì)算應(yīng)力。2D應(yīng)力通過在直徑達(dá)200mm的樣品上通過單次掃描測量,無需圖像拼接。3D應(yīng)力的測量采用多個(gè)2D掃描,并結(jié)合θ平臺在掃描之間的旋轉(zhuǎn)對整個(gè)樣品表面進(jìn)行測量。


    ·缺陷復(fù)檢

    缺陷復(fù)查用于測量如劃痕深度之類的缺陷形貌。 缺陷檢測設(shè)備找出缺陷并將其位置坐標(biāo)寫入KLARF文件。 “缺陷復(fù)檢"功能讀取KLARF文件、對準(zhǔn)樣本,并允許用戶選擇缺陷進(jìn)行2D或3D測量。


在線留言

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補(bǔ)充說明:

  • 驗(yàn)證碼:

    請輸入計(jì)算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
老熟女高潮一区二区三区| 三年片大全在线观看免费观看大全| 制服 丝袜 人妻 专区一本| 性荡视频播放在线视频| 色婷婷久久综合中文久久蜜桃av| 亚洲人成人无码网www国产| 日日日日做夜夜夜夜做无码| 日韩吃奶摸下aa片免费观看| 国产精品交换| 亚洲av永久无码精品一区二区| 精品人妻一区二区三区浪潮在线| 久久久亚洲欧洲日产国码农村| 天天综合天天做天天综合| 欧洲熟妇色xxxx欧美老妇软件| 亚洲国产一区二区a毛片| 国产乱妇乱子在线播视频播放网站| 无码人妻一区二区三区免费视频| 国产午夜成人免费看片| 国产无吗一区二区三区在线欢| 色综合久久蜜芽国产精品| 亚洲熟女乱综合一区二区| 欧美人与动人物牲交免费观看久久| 亚洲欧美日韩在线不卡| 7777久久亚洲中文字幕| 两个人看的www中文在线观看| 精品一区二区av天堂| 日本不卡高字幕在线2019| 国产精品久久国产精品99盘| 久久久久亚洲av综合波多野结衣| 精人妻无码一区二区三区| 国产麻豆md传媒视频| 日本伊人色综合网| 久久无码专区国产精品| 自慰系列无码专区| 老鲁夜夜老鲁| 亚洲av无码不卡在线播放| 国产黄大片在线观看画质优化| 欧美男生射精高潮视频网站| 亚洲av福利天堂一区二区三| 国产毛多水多高潮高清| 久久精品国产精品青草|